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相门区气体管道安装-珂锐弘扬(在线咨询)-气体管道安装哪家好

气体管道安装

气体管道（gas pipeline）包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设在气体入口室。气体经鼓风机、压缩机、泵和锅炉等增压后，从管道的高压处流向低压处，也可利用气体自身的压力或重力输送。当气体的流量已知时，管径的大小取决于允许的流速或允许的摩擦阻力(压力降)。流速大时管径小，但压力降值增大。但泵和压缩机等动力设备的运行能耗费用增大。此外，如果流速过大，还有可能带来一些其他不利的因素。因此管径应根据建设投资、运行费用和其他技术因素综合考虑决定。

实验室气路改造管道材质及作用

　　高纯度气体管一般根据循环介质的工艺要求由薄壁不锈钢管制成。

　　主要有铬、镍和钼合金元素。

　　a、铬的存在提高了不锈钢在氧化介质中的耐腐蚀性，形成富铬氧化膜;

　　b、钼的存在提高了不锈钢在非氧化介质中的耐腐蚀性

　　c、镍是奥氏体的形成元素，镍的存在不仅提高了钢的耐蚀性，而且改善了钢的工艺性能。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。